ASM telt half miljard neer voor Italiaanse siliciumcarbidespecialist

René Raaijmakers
24 augustus

ASM International kondigt de volledige overname aan van LPE. Dit Italiaanse bedrijf maakt kristalgroeireactoren voor siliciumcarbide (SiC) en silicium. ASM betaalt 425 miljoen euro in cash en daarnaast een bedrag dat kan oplopen tot maximaal 100 miljoen euro, afhankelijk van LPE’s prestaties de komende twee jaar. Volgend jaar verwachten de Italianen een omzet van meer dan 100 miljoen euro te halen, voornamelijk in de SiC-epitaxiemarkt.

LPE werd in 1972 opgericht en focuste altijd op geavanceerde epitaxieapparatuur voor vermogenstoepassingen. Epitaxie is een cruciaal proces in de chipfabricage dat halfgeleiders laat groeien zonder dat de kristalstructuur van deze materialen wordt onderbroken. Op deze manier zijn optimale elektronische eigenschappen te verkrijgen.

Foto: LPE

Inmiddels heeft LPE heeft een grote wereldwijde installed base aan SiC-epitaxiegereedschappen. Siliciumcarbide is een halfgeleidermateriaal dat zeer hittebestendig is en hoge stroomdichtheden toelaat. In vergelijking met veelgebruikte halfgeleidermaterialen zoals silicium geeft SiC minder energieverlies. De markt voor SiC-chips zit sterk in de lift door de grote vraag naar elektrische voertuigen. In Europa produceert Bosch deze chips sinds 2021 in Reutlingen. Het Duitse bedrijf kondigde afgelopen juli aan dat het de komende vier jaar 3 miljard euro gaat investeren in zijn waferfabs voor power-ic’s in Dresden en Reutlingen.

SiC behoort tot de halfgeleidermaterialen met een zogenaamde brede bandgap. Daardoor is het zeer efficiënt bij hoge spanningen, biedt het een hogere vermogensefficiëntie en een hogere vermogensdichtheid. Dat is de reden dat componenten van siliciumcarbide zoals batterijladers kleiner kunnen worden uitgevoerd.

Zelf startte ASM begin jaren zeventig met epitaxie voor silicium. In zijn eerste machine pasten destijds vijftien 2-inch plakjes. Zijn huidige Intrepid- en Epsilon-reactoren vinden vooral aftrek in de markt voor geheugens en logica, maar producenten van vermogenselektronica betrekken ook silicium-epitaxieapparatuur bij ASM.

De verwachting is dat het gebruik van siliciumcarbide sterk zal toenemen naarmate de technologie volwassener wordt. Op basis van interne schattingen verwacht ASM dat de vraag naar SiC-epitaxieapparatuur van 2021 tot 2025 zal groeien met een jaargemiddelde van ruim 25 procent. De wereldwijde auto-industrie investeert aanzienlijk in chips die gemaakt zijn van siliciumcarbide.

‘De overname van LPE voegt een snelgroeiende activiteit toe aan onze portefeuille depositietechnologieën’, zegt Benjamin Loh, ceo van ASM. Loh verwacht dat LPE zijn productaanbod binnen ASM verder kan differentiëren doordat het zelf veel klanten in de markt voor vermogenselektronica bedient.