ASMI lijft Amerikaanse leverancier RF-matchingsystemen in

Paul van Gerven
15 maart

ASM International heeft Reno Sub-Systems overgenomen, een leverancier van RF-vermogenssubsystemen voor halfgeleiderproductieapparatuur. Het Amerikaanse bedrijf met het hoofdkantoor in Nevada biedt RF-stroomopwekking en impedantie-aanpassing van elektrische belastingen die worden gebruikt bij het maken van chips. ASMI zegt dat ‘Reno’s hoogwaardige RF-matchingnetwerken en RF-generatoren de plasmaproducten en -oplossingen van ASMI zullen verbeteren’. Vanwege de beperkte omvang zal de overname naar verwachting geen significante impact hebben op de cijfers over 2022.

De Precis solid-state RF-stroomgenerator van Reno Sub-Systems. Foto: Reno Sub-Systems

Reno Sub-Systems is opgericht in 2014 met steun van onder meer Intel Investment Group. Zijn claim to fame is RF-matching in microseconden, dankzij elektronisch variabele condensator-matching netwerktechnologie. De meest gebruikte RF-aanpassingstechnologie die destijds werd gebruikt, namelijk vacuüm variabele condensatortechnologie, duurt enkele seconden. In 2017 genoot Reno de steun van verschillende grote semiconbedrijven, zoals Samsung, SK Hynix en Lam Research.