ASML en Tel schakelen ontwikkelactiviteiten op

Paul van Gerven
30 november 2011

ASML en Tokyo Electron Limited (Tel) wisselen machines uit om hun ontwikkelactiviteiten te versnellen. Naarmate chipstructuren kleiner worden, is namelijk meer en meer een geïntegreerde aanpak nodig van lithografie en andere procesonderdelen, zoals de behandeling van de lak. In Veldhoven komt daarom Tels nieuwste EUV-coat- en -ontwikkelapparaat te staan, zodat de partners gezamenlijk de procesontwikkeling voor 22-nanometerchips en kleiner kunnen doen op ASML‘s NXE:3300-scanner. Omgekeerd krijgt Tels vestiging in het Japanse Kumamoto een immersiescanner van ASML te staan, bedoeld om de doorvoer van deze technologie boven de vierduizend wafers per dag te tillen. Immersie blijft een belangrijke technologie, zeggen beide bedrijven in een gezamenlijk persbericht.