ASML opent r&d-campus in Silicon Valley

Paul van Gerven
23 augustus

Met Brion Technologies en HMI onder één dak opende ASML onlangs een ‘holistische lithografiecampus’ in San Jose. Voorheen waren de dochterondernemingen gehuisvest in verschillende gebouwen, wat de samenwerking enigszins belemmerde. Bovendien bleek dat toen de teams de ontwikkeling van nieuwe multi-beam e-beam-inspectietechnologie opvoerden, ze snel de bestaande lab- en cleanroomruimte ontgroeiden en de roadmaps daardoor in gevaar dreigden te raken.

Foto: ASML

ASML nam Brion over in 2007. Als specialist in computationele lithografie ontwikkelt het software die verschillende aspecten van het lithografieproces optimaliseert. De overname van HMI, voorheen bekend als Hermes Microvision Inc, werd in 2016 afgerond. Het Taiwanese bedrijf met r&d-activiteiten in Silicon Valley richt zich op e-beam-inspectieapparatuur.

Brion en HMI vormen samen een integraal onderdeel van ASML’s holistische lithografiesuite, een reeks technieken waarin het ontwerp van de chip, het masker, de lithografie en de metrologie worden gecoördineerd om het chipproductieproces te optimaliseren.