ASML zal niet lang meer weten te ontsnappen aan Amerikaanse exportbeperkingen

Hoe lang nog zal de Amerikaanse regering dulden dat bondgenoten niet meewerken aan de China-boycot?

Paul van Gerven

18 oktober

ASML beoordeelt momenteel ‘de mogelijke implicaties van de nieuwe regelgeving, als die er zijn, en kan op dit moment geen commentaar geven.’ Maar na bestudering van de documenten en het commentaar van overheidsfunctionarissen lijkt het onwaarschijnlijk dat de fabrikant van lithografiesystemen nog lang zal ontsnappen aan de ingrijpende exportcontroles die vorige week door het Amerikaanse ministerie van Handel werden aangekondigd. Zelfs als de huidige golf van beperkingen ASML er niet van weerhoudt DUV-apparatuur aan Chinese bedrijven te leveren, zal er een volgende komen die dat wel doet. Het is inmiddels immers overduidelijk dat de VS niet zullen stoppen voordat China volledig is afgesneden van alle geavanceerde halfgeleidertechnologie.

De VS hebben een bepaling uitgebreid die bekend staat als de Foreign-Direct Product Rule. Deze beperking verbiedt bedrijven halfgeleidertechnologie aan Chinese organisaties te leveren die is ontwikkeld door of vervaardigd met behulp van Amerikaans technologie. De regel werd voor het eerst gebruikt om Huawei van halfgeleiders af te knijpen, eerst door TSMC te beletten chips voor het Chinese telecombedrijf te vervaardigen en later ook door de rechtstreekse verkoop van chips aan het bedrijf te blokkeren. Huawei’s telefoonbusiness werd knock-out geslagen.

Nu willen de VS verder gaan dan het aanpakken van specifieke bedrijven en de toegang tot Amerikaanse technologie in algemene zin aan banden leggen. De vraag is: hoeveel Amerikaanse technologie moet een product bevatten om onder de nieuwe regelgeving te vallen? Zelfs als het huidige percentage laag genoeg is om ASML te vrijwaren – ASML heeft meerdere dochterondernemingen in de VS – kan dat percentage gemakkelijk worden gewijzigd. Daar was ook sprake van toen de Huawei-sancties in eerste instantie gemakkelijk bleken te omzeilen.

250nm

Eerder overtuigde de Amerikaanse regering haar Nederlandse tegenhanger om de export van EUV-scanners te blokkeren door een beroep te doen op het Akkoord van Wassenaar, dat de westerse export van goederen en technologie met mogelijk militair gebruik reguleert. De regeling is echter geen verdrag en het opvolgen van de aanbevelingen wordt aan de afzonderlijke landen overgelaten.

EUV-scanners zijn niet specifiek opgenomen in de Wassenaarse lijst van goederen en technologieën voor tweeërlei gebruik, maar lithografie-apparatuur met een lichtbrongolflengte van minder dan 193 nanometer wel, evenals apparatuur waarmee patronen kunnen worden geproduceerd met een resolutie van 45 nanometer of minder. Volgens ASML is de resolutielimiet van ArF-immersiescanners 50 nanometer, dus de export van de meest geavanceerde scanners na EUV-toestellen kan niet worden gereguleerd via het Akkoord.

Straks niet meer naar China? Beeld: ASML

Eerder dit jaar werd bekend dat de regering Biden toch bij het Nederlandse kabinet heeft aangedrongen op een exportverbod voor DUV-lithografieapparatuur. Minister Hoekstra van Buitenlandse Zaken bevestigde dat er gesprekken lopen. ‘Je blijft altijd in gesprek met bondgenoten wanneer goederen bredere strategische implicaties hebben,’ zei hij.

Volgens marktonderzoeker Trendforce hebben de opgevoerde beperkingen betrekking op 16nm en geavanceerdere processen voor logic-IC’s, waaronder FinFET- en gate-all-around-architecturen. Dit soort chips hebben structuren die de resolutie van standaard DUV-lithografie ver te boven gaan, althans in een commerciële omgeving. De VS zouden zich dus vooral op immersielithografie richten. De US National Security Commission heeft vorig jaar inderdaad aanbevolen om exportcontroles in te stellen voor halfgeleiderfabricageapparatuur ‘waarmee 16-nanometerchips en kleiner kunnen worden geproduceerd, met name EUV- en ArF-immersielithografieapparatuur.’

Opmerkelijk genoeg lijken de nieuwe maatregelen echter nog restrictiever. De lijst van gereguleerde items omvat lithografische apparatuur die ‘structuren van minder dan 2,5 micrometer in grootte’ kan produceren en die ‘een lichtbrongolflengte van minder dan 400 nanometer’ gebruiken. De commerciële productie van 250nm-chips begon eind jaren negentig van de vorige eeuw.

Geen keuze

Voorafgaand aan publicatie hebben Amerikaanse regeringsfunctionarissen aan journalisten verteld dat de maatregelen bedoeld zijn om te voorkomen dat buitenlandse bedrijven geavanceerde chips of de tools om die te vervaardigen aan Chinese bedrijven blijven leveren. De ambtenaren gaven echter toe dat ‘zij geen toezeggingen hadden gekregen van geallieerde naties dat die gelijkaardige maatregelen zouden invoeren, maar dat de besprekingen met die naties gaande zijn,’ schrijft Reuters.

‘We erkennen dat de unilaterale beperkingen die we invoeren na verloop van tijd hun effectiviteit zullen verliezen als andere landen zich niet bij ons aansluiten,’ citeert Reuters een ambtenaar. ‘En we lopen het risico het Amerikaanse technologisch leiderschap te schaden als buitenlandse concurrenten niet aan soortgelijke controles worden onderworpen.’

De regering Biden is niet zo lomp als haar voorganger, maar ze verwacht duidelijk dat bondgenoten zich bij de VS aansluiten om China de toegang tot geavanceerde halfgeleidertechnologie te ontzeggen. Nu het zijn eigen Amerikaanse machinebouwers verboden heeft om hun apparatuur aan Chinese bedrijven te leveren (de VS lijken bereid om uitzonderingen te maken in leveringen aan in China gevestigde fabrieken die eigendom zijn van niet-Chinezen), blijft er weinig manoeuvreerruimte over voor de Nederlandse regering. Maar zij kan de Chinezen wél oprecht mededelen dat de VS haar geen keuze liet.