‘ASML zet Chinese euv-bestelling in de wacht na Amerikaanse druk’

Paul van Gerven
6 januari

Trump heeft – blijkbaar met succes – de Nederlandse regering onder druk gezet om de export van ASML’s euv-scanners naar China te blokkeren. Volgens Reuters – dat verwijst naar anonieme bronnen – zijn de VS in 2018 gestart met een lobbycampagne, mogelijk nadat ASML zijn eerste Chinese euv-bestelling ontving. De kwestie werd ook aan de orde gesteld toen premier Mark Rutte afgelopen juli het Witte Huis bezocht. Rond dezelfde tijd verlengden de Nederlanders de vereiste exportlicentie niet en naar verluidt is de scanner nog niet verzonden.

Foto: ASML

De Amerikaanse overheid heeft formeel geen middelen om ASML te dwingen te stoppen met het verkopen van euv-apparatuur aan Chinese klanten. Het kan echter wel een beroep doen op de ‘Wassenaar Arrangement’, dat de westerse export regelt van goederen en technologie die mogelijk militair worden gebruikt. Euv-scanners zijn niet specifiek opgenomen in de Wassenaar-lijst van dual-use goods and technologies, maar lithografieapparatuur voorzien van een lichtbron met een golflengte korter dan 193 nanometer en apparatuur die 45 nanometer features kan produceren, staan er wel op. De Arrangement is echter geen echt verdrag; individuele landen kunnen de aanbevelingen terzijde leggen.

Een woordvoerster van het ministerie van Buitenlandse Zaken bevestigde aan Reuters dat de overheid soevereine vrijheid heeft om licenties voor gevoelige technologie te verlenen, maar weigerde commentaar te geven op dit specifieke geval. ASML bevestigde aan Mechatronica&Machinebouw dat de Chinese euv-order is uitgesteld in afwachting van de exportvergunning.