Brand ASML in Berlijn treft euv-lijn

7 januari

Na de brand bij zijn vestiging in Berlijn eerder deze week heeft ASML inmiddels de schade opgenomen. Die lijkt in eerste instantie mee te vallen. De brand woedde in een deel van een productiegebouw en de rook sloeg deels over naar een aangrenzend pand. In delen van deze gebouwen heeft ASML de productie al kunnen hervatten. De andere gebouwen op de site zijn niet aangetast en volledig operationeel.

Op het eerste gezicht lijkt de brandschade bij ASML in Berlijn mee te vallen. Foto: ASML

Hoewel de inventarisatie nog niet is afgerond, meldt ASML dat zijn metrologie- en inspectielijn sowieso geen hinder ondervindt van de brand, omdat ze geen componenten bevatten die in Berlijn worden gemaakt. De productie van duv-componenten is opnieuw opgestart. Hoewel er enige verstoring was voor deze onderdelen, verwacht ASML dit zodanig te kunnen verhelpen dat de brand uiteindelijk geen invloed zal hebben op de productieplannen voor DUV.

Wel heeft de brand een deel van het productiegebied van de waferklem getroffen, een module in ASML’s euv-systemen. ASML werkt aan een herstelplan voor dit productiegebied om de impact voor zijn euv-klanten te minimaliseren.

In Berlijn produceert ASML componenten voor zijn lithografiesystemen, waaronder wafeltafels en -klemmen, reticleplaten en spiegelblokken. ASML nam Berliner Glas anderhalf jaar geleden over.