Brandschade ASML Berlijn bijna hersteld

Paul van Gerven
19 mei

ASML verwacht dat de productie in zijn Berlijnse fabriek uiterlijk eind volgende maand weer normaal zal zijn, bevestigt een woordvoerder van het bedrijf aan Mechatronica&Machinebouw. Een brand op de voormalige Berliner Glass-site veroorzaakte begin januari behoorlijke schade aan een deel van de site waar euv-waferklemmen worden geproduceerd. De productie van duv-componenten werd snel hervat, maar het herstel van de productie van wafer clamps zou langer duren, aldus ASML. De woordvoerder herhaalde dat de brand dit jaar geen effect zal hebben op de euv-output.

De brand heeft geen effect op de uitlevering van euv-machines, zegt ASML. Foto: ASML

Om de onvermijdelijke vertragingen in de productie van klemmen op te vangen, zei ASML dat het ze op het laatst mogelijke moment zou gaan integreren in nieuwe apparatuur, misschien zelfs na verzending. Een andere maatregel is om te proberen bestaande klemmen langer mee te laten gaan – ze zijn namelijk onderhevig aan slijtage en moeten met regelmatige tussenpozen worden vervangen. Door het vervangen van klemmen uit te stellen, kunnen er meer klemmen beschikbaar komen voor nieuwe apparatuur.