Eerste commerciële euv-tool wordt geïnstalleerd op Europese bodem

Paul van Gerven
8 april

Intel is begonnen met het installeren van een euv-systeem van ASML in Fab 34, in het Ierse Leixlip. Dit zal de eerste Europese fabriek zijn die de volgende generatie lithografietechnologie gebruikt voor massaproductie. Het enige andere Europese bedrijf dat ooit een euv-tool van ASML heeft ontvangen, is Imec, dat het gebruikte voor r&d en procesontwikkeling, en de ontwikkeling van toekomstige ic-technologie.

Foto: ASML

Zodra de tool is geïnstalleerd, zal Fab 34 waarschijnlijk Intel 4-chips gaan produceren. Voorheen 7 nm genoemd, is dit Intels eerste knooppunt waarin euv volledig wordt omarmd. Volgens een vorig jaar gepresenteerde roadmap zal de productie van Intel 4 in het derde kwartaal van dit jaar van start gaan.

In een Youtube-video geplaatst door Intel zegt een woordvoerder dat de site de komende jaren meer euv-systemen zal installeren. De recent aangekondigde megafab in Duitsland, die naar verwachting in 2027 online zal komen, zal waarschijnlijk niet alleen euv maar ook high-NA-scanners.