Eerste vacuümtransferlijn Demcon TSST naar Denemarken

René Raaijmakers
23 augustus

De Technische Universiteit van Denemarken (DTU) neemt als eerste een vacuümtransferlijn af van Demcon TSST. De Deense onderzoekers kunnen hiermee samples transporteren tussen depositie- en testapparatuur zonder dat kwetsbare materialen in aanraking komen met de buitenlucht.

De vacuümtransferlijn is een recente uitbreiding van het productportfolio van Demcon TSST. De variant die de Denen ontvingen, is zes meter lang en heeft ruimte voor drie systemen voor plasmalaserdepositie (pld) en een sputterklok. De vacuümstraat is naar wens uit te breiden met apparatuur voor metingen en analyse. Allemaal met het voordeel dat de kwetsbare samples het vacuüm niet uit hoeven. De DTU heeft ook gelijk drie pld-systemen afgenomen bij Demcon TSST, dat zijn omzet op dit moment hoofdzakelijk haalt uit dit soort r&d-instrumentarium.

Vacuümtransferlijn van Demcon TSST. Foto: Demcon TSST

In pld-systemen schieten laserpulsen zeer kleine hoeveelheden materiaal los in een ruimte die met ultrahoog vacuüm zeer schoon wordt gehouden. Er ontstaat een plasma waaraan zeer puur zuurstof wordt toegevoegd om de groei van metaaloxides en keramische materialen mogelijk te maken. Dit zorgt ervoor dat de druk tijdens experimenten iets omhoog gaat. De atomen uit het plasma groeien aan op het sample. Op deze manier zijn dunne lagen met hoge kwaliteit atoomlaag voor atoomlaag op te bouwen.

De positie die TSST heeft verworven in de academische wereld dankt het aan het feit dat het plasmadepositie combineert met een eigen variant van Rheed (Reflection High-Energy Electron Diffraction). Rheed is een kristallografische analysemethode waarbij een elektronenbundel onder een flauwe hoek op een materiaal wordt geschoten. Uit het resulterende reflectiepatroon vallen conclusies te trekken over het kristaloppervlak van het sample.

Binnenkant van de transferkamer, met de plaat en de houder die de samples transporteert tussen de pld- en analysekamers. Foto: Demcon TSST

Bij Demcon TSST werken vijftien mensen aan de ontwikkeling van laserdepositieapparatuur. Het verkoopt de systemen inmiddels over de hele wereld, meestal zo’n tien tot vijftien stuks per jaar. China was lange tijd de belangrijkste afzetmarkt, maar daar is de concurrentie inmiddels heviger. Tegenwoordig behoren Europese universiteiten tot de grootste klanten. Daarnaast richt TSST zich in toenemende mate op industriële research.