Imec aan de slag met Solmates’ pld-systeem

Paul van Gerven
19 april 2016

Mesa+-spin-off Solmates levert dit kwartaal een pulsed laser deposition-machine aan Imec en sluit zich aan bij het Beyond CMOS-programma van het Leuvense onderzoeksinstituut. Samen gaan de partners kijken naar nieuwe materialen (zoals piëzo-elektrische en 2d-geleiders) en nieuwe device-concepten die buiten de lijnen vallen die zijn uitgezet voor traditionele cmos-schaling.

In een pld-systeem worden ‘wolkjes’ materiaal losgemaakt met een laserpuls, waarna deze neerslaan op een substraat. Zo wordt een dunne film laag voor laag opgebouwd, met nauwkeurige controle over de samenstelling van iedere individuele laag. Zo kunnen nanomaterialen op maat worden geconstrueerd.

Nu atoomlaagdepositie in diverse sectoren is omarmd, zoals in de halfgeleider- en zonnecelfabricage, is pld een logische volgende stap, stelt Solmates. Het Twentse bedrijf heeft de technologie al met klanten gekwalificeerd voor mems-, led- en power-ic-applicaties.