Intel plaatst als eerste order voor ASML’s high-NA-productiesysteem

Paul van Gerven
20 januari

Intel heeft toegezegd de Twinscan EXE:5200 te kopen, ASML’s eerste high-NA-systeem voor volumeproductie dat naar verwachting in 2024 wordt verzonden en in 2025 volledig operationeel zal zijn. Het jaar ervoor, tegen het einde van 2023, is ASML van plan om de EXE:5000 te gaan verzenden, een systeem bedoeld voor procesontwikkeling. In Veldhoven zijn vijf orders binnengekomen voor deze R&D-tools en Intel had al eerder bekendgemaakt dat het de eerste koper van dat systeem was.

Foto: ASML

ASML assembleert momenteel het eerste EXE:5000-systeem, dat zal worden geïnstalleerd in het gezamenlijke ASML-Imec-onderzoekscentrum voor high-NA-lithografie. Het prijskaartje van de EXE:5000 is 270 miljoen euro; de EXE:5200 kost ‘aanzienlijk meer dan 300 miljoen euro’.

Het is geen geheim dat Intel, dat wil concurreren in de foundrysector, mijlenver achterloopt op zijn rivalen Samsung en TSMC. Het lijkt erop dat het een deel van de achterstand wil compenseren door als eerste lithografie-instrumenten voor high-NA te gaan inzetten.