Levitech updatet machine voor Rapid Thermal Processing met reactieve gassen

Alexander Pil
14 april

Levitech introduceert de Levo 6000-serie als de volgende generatie Rapid Thermal Processing-systemen die reactieve gassen zoals ammoniak en 100 procent waterstof kunnen verwerken. De lekdichtheid en het verbeterde controlesysteem zijn de belangrijkste nieuwe kenmerken van de Levo 6000-serie die de hoge doorvoer en betrouwbaarheid van het Levitor-systeem voortzet.

‘Sinds de introductie van de Levitor 4000-serie in 2004 hebben we gezien dat de eisen van de klant zijn veranderd en veel complexer zijn geworden’, aldus Levitech-ceo Jaap Beijersbergen. ‘De introductie van de Levo 6000-serie voldoet aan de eisen voor de volgende generatie Rapid Thermal Processing (RTP) in combinatie met reactieve gassen. We zijn erin geslaagd om de nieuwe functies van de Levo 6000 al bij twee klanten te realiseren.’

Het Levo-systeem is beschikbaar in configuraties voor zowel 200 mm als 300 mm wafers. De hardwarewijzigingen zoals een verbeterde mini-omgeving, een ondoordringbare reactor en cooldown, gecombineerd met een herzien besturingssysteem op basis van Beckhoff-technologie, maken de Levo-6000-serie klaar voor de toekomst, aldus Levitech.