Mesa+ zet stap richting industrie met pld-machine Solmates

Alexander Pil
24 mei 2016

UT-onderzoeksinstituut Mesa+ schaft een geavanceerde pulsed laser deposition-machine aan van spin-off en onderzoekspartner Solmates. Dit apparaat maakt het mogelijk om nieuwe materialen en (onderdelen voor) chips te creëren door deze atoomlaag na atoomlaag op te bouwen. Met de nieuwe machine verstevigt Mesa+ zijn positie ten opzichte van de industrie, omdat onderzoekers en de vele externe gebruikers van het Mesa+ Nanolab, voortaan ook in staat zijn om op industriële schaal te werken.

Mesa+, het onderzoeksinstituut voor nanotechnologie van de Universiteit Twente, is gespecialiseerd in het creëren van extreem dunne laagjes van slechts één atoomlaag dik. Hierbij wordt een materiaal met een laser omgezet naar een plasma dat als een dun laagje neerslaat op een ondergrond. Door verschillende dunne laagjes op elkaar te stapelen kun je compleet nieuwe (onderdelen voor) chips maken en materialen creëren met eigenschappen die niet eerder zijn waargenomen. De techniek waarmee dit gebeurt – en die mede aan de UT is ontwikkeld – heet pulsed laser deposition (pld). Solmates-ceo Arjen Janssens verwacht dat pld rond 2020 uitgroeit tot een van de standaard productiesystemen voor chips.

Met de apparatuur waarmee dit voorheen op een universiteit gebeurde, was het alleen mogelijk om relatief kleine oppervlakken (van 10 bij 10 millimeter) te bewerken. De machine van Solmates stelt Mesa+ in staat veel grotere oppervlakken te patroneren. Onderzoekers kunnen nu net als in de industrie wafers met een diameter van twintig centimeter patroneren. Onderzoeksresultaten en nieuwe technologie van het instituut zijn hierdoor direct toepasbaar in de industrie. Bovendien is de nieuwe apparatuur vele malen gebruiksvriendelijker, waardoor veel meer gebruikers van het NanoLab er gebruik van kunnen maken.

Janneke Hoedemaekers, zakelijk directeur van Mesa+, spreekt van een belangrijke stap richting de industrie. ‘Met deze apparatuur hebben we veel nieuwe mogelijkheden en maken we de stap van laboratoriumschaal naar industriële schaal. Dit laatste versterkt de samenwerking met de industrie verder en zorgt dat onze technologie, prototypes en kennis eerder kunnen worden toegepast. We krijgen bovendien extra mogelijkheden om complexe materialen, zoals oxidische materialen, te combineren met siliciumtechnologie.’

System Architecting Conference

Solmates, het bedrijf dat de pld-machine ontwikkelt en verkoopt, is een spin-off van de Universiteit Twente. Het is wereldwijd het enige bedrijf dat pld-apparatuur maakt die geschikt is voor industriële toepassingen. Het bedrijf werkt sinds 2009 aan de technologie en is in het bezit belangrijke patenten. In 2013 verkocht het bedrijf zijn eerste PLD-machine. Recent leverde het bedrijf een machine aan Imec.