Na litho richt ASML zich op chipmetrologie

ASML is een doorgewinterd hardwarebedrijf – gebouwd op fysica, gebouwd door fysici. Litho-apparatuur is nog steeds de belangrijkste inkomstenbron, goed voor 70 tot 80 procent van de omzet. Maar in de afgelopen twintig jaar heeft het bedrijf zeer ijverig computationele technologie en meetsystemen toegevoegd om zijn steppers en scanners te ondersteunen. Data en software hebben nu een grote invloed op ASML’s onderzoek en ontwikkeling. Met een beetje goede wil kun je stellen dat zonder metrologie, data, rekenwerk en correctielussen de nieuwste lithotechnologie geen enkele die zou kunnen produceren. Het is zeker zo dat chipfabrikanten zonder dit alles niet de opbrengsten zouden realiseren die nodig zijn voor een winstgevende halfgeleideractiviteit.

Het begon allemaal in 1999 met de acquisitie van Masktools, een bedrijf met slechts tien werknemers dat werkte aan technologie voor maskeroptimalisatie. De nieuwste aanwinst in deze jacht is Hermes Microvision (HMI), ten tijde van de 2,75 miljard euro acquisitie in 2016 een Taiwanese leverancier met 350 medewerkers van e-beam patroonverificatiesystemen. Volgens ASML heeft HMI nu het aantal mensen verdubbeld – mede dankzij de overname van de experts van het Delftse e-beam lithobedrijf Mapper, dat eind 2018 failliet ging.