VDL ETG bouwt complexe frames voor Zeiss

Alexander Pil
25 maart

VDL ETG heeft een omvangrijk contract in de wacht gesleept. Voor Zeiss gaat het bedrijf frames bouwen die de nauwkeurige ophanging en positionering waarborgen van de spiegels van deze Zuid-Duitse hightechspeler. Deze spiegels vormen en richten de lichtbundel in de volgende generatie euv-machines van ASML. De frames zullen worden gebouwd bij VDL ETG Almelo en VDL ETG Zwitserland.

Een miljoenen investering is nodig om vooral VDL ETG Almelo gereed te maken voor de opstart van de productie. Een nieuwe productiehal moet worden gebouwd, en een bestaande productiehal wordt vrijgemaakt en vervolgens omgebouwd voor cleanroommontage. Het dak moet worden verhoogd om bijvoorbeeld een meetmachine van negen meter hoog, zeven meter lang en ruim vier meter breed onder te kunnen brengen. Omdat VDL ETG Zwitserland op dit moment over grotere freesmachines beschikt dan in Almelo, zullen de eerste frames in Trübbach worden geproduceerd.

Voor een van de frames zijn twee aluminium blokken nodig van bijna twintig ton per stuk. Nadat zo’n blok ruim dertienhonderd uur is bewerkt, is daarvan nog ongeveer drie ton over. VDL ETG zal de frames eveneens voorzien van onder meer leidingen, elektronica, mechanische afdekkingen en koelplaten.

De frames zijn bestemd voor de nieuwste generatie euv-machines. Die worden veel groter dan de huidige generatie lithografiemachines die werken met extreem ultraviolet licht. De frames kennen een afmeting van enkele meters hoog, breed én diep.

‘Dankzij de uitstekende samenwerking in het verleden en de ervaring van VDL ETG met systeemintegratie beschouwen we deze leverancier als een sterke partner voor de bouw van deze modules’, stelt Stefan Häberle, vicepresident van Zeiss SMT. ‘Daarnaast profiteren we ook van de jarenlange nauwe samenwerking tussen VDL ETG en onze klant ASML.’

De eerste levering van het eerste van drie frames staat gepland voor eind 2020. De verwachting is dat de productie een doorlooptijd zal kennen van vijf tot tien jaar.