ASML Part Paarhuis overlay duv

14/04/2021

ASML reduceert duv-overlayfouten tot onder de 1 nanometer

Balancerend tussen precisie en productiviteit heeft ASML de doorvoer van zijn deep uv-machines verhoogd tot 295 wafers per uur, terwijl het een mijlpaal voor overlayfouten bereikte van 1 nanometer in zijn nieuwe Twinscan NXT:2050i. De eerste vijftien systemen zijn inmiddels verscheept. Op High-Tech Systems 2021 vertelde Bart Paarhuis hoe ASML hierin is geslaagd.