ASML waferstage piezo’s

24/11/2021

Zoeken naar nieuwe concepten buiten comfortzone gevestigde ontwerpprincipes

Hoeveel rek zit er nog in de waferstage van ASML? Onderzoekers van de TU Eindhoven en Eindhoven Engine werken buiten de ASML-campus aan een alternatieve oplossing op basis van piëzo-actuatie.