ASML’s multi-e-beam metrologietool vertraagd

05/02/2020

ASML’s multi-e-beam metrologietool vertraagd

Door een complicatie bij het delen van ip, was ASML genoodzaakt om opnieuw te beginnen met de ontwikkeling van een multi-beam e-beam metrologietool. Als gevolg hiervan werd de introductie van het systeem een ​​jaar uitgesteld.