TU Delft ASML ultrageluid

26/05/2021

TU Delft en ASML brengen ultrageluid naar nanoniveau

Een nieuwe beeldvormingstechniek, ontwikkeld door TU Delft en ASML, geeft atoomkrachtmicroscopen toegang tot ultrageluidmogelijkheden op extreem hoge frequenties. Zo zouden structuren onder het oppervlak met nanometerresolutie in beeld kunnen worden gebracht. Dat maakt het een zeer interessante optie voor metrologie-experts in de halfgeleiderindustrie.